中頻電源HQ-MF04040-2P,是廣泛應(yīng)用在太陽(yáng)能電池制造及真空鍍膜過(guò)程中,等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法(PECVD)鍍膜工藝上的特種電源。
輸出為單通道,輸出功率可達(dá)20kW,可以輸出多種電壓波形(如方波、階梯波、雙極性脈沖波),滿足不同鍍膜工藝要求。
? 節(jié)能環(huán)保:采用先進(jìn)的軟開關(guān)技術(shù),最高效率可達(dá)93%,比傳統(tǒng)電源高3%以上;
? 極低電弧能量:自主專利技術(shù)的電弧檢測(cè)和滅弧方法,確保出色的鍍膜均勻度和高良率;
? 匹配性強(qiáng):多種不同電壓波形可調(diào),輸出電壓高達(dá)800V,可同時(shí)滿足新型和傳統(tǒng)的鍍膜工藝要求;
? 電網(wǎng)諧波污染小:具備主動(dòng)功率因素校正功能,輸入功率因素滿載高達(dá)0.99,電流諧波小于5%;
? 可擴(kuò)展:FPGA+DSP+ARM全數(shù)字化控制平臺(tái),更智能更可靠,輕松匹配客戶的定制化需求;
? 高集成,易維護(hù):自主專利技術(shù)的水冷設(shè)計(jì),標(biāo)準(zhǔn)化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),噪音低,操作簡(jiǎn)單,維護(hù)便捷;