瀚強(qiáng)HQ-MF系列中頻電源，是廣泛應(yīng)用在太陽(yáng)能電池制造和真空鍍膜過(guò)程中，等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法（PECVD）鍍膜工藝上的特種電源。輸出有單通道、雙通道等方式，每通道功率可達(dá)15kW~60kW，可以輸出多種電壓波形（如方波、階梯波、雙極性脈沖波），滿足不同鍍膜工藝要求。