中頻電源HQ-MF04060-2,是廣泛應(yīng)用在太陽能電池制造及真空鍍膜過程中,等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法(PECVD)鍍膜工藝上的特種電源。
輸出有獨(dú)立雙通道,每通道功率可達(dá)30kW,可以輸出多種電壓波形(如方波、階梯波、雙極性脈沖波),滿足不同鍍膜工藝要求。
? 節(jié)能環(huán)保:采用先進(jìn)的軟開關(guān)技術(shù),最高效率可達(dá)93%,比傳統(tǒng)電源高3%以上;
? 極低電弧能量:自主專利技術(shù)的電弧檢測和滅弧方法,確保出色的鍍膜均勻度和高良率;
? 匹配性強(qiáng):多種不同電壓波形可調(diào),輸出電壓范圍更寬,可滿足不同的鍍膜工藝要求;
? 電網(wǎng)諧波污染?。壕邆渲鲃庸β室蛩匦Uδ?,輸入功率因素滿載高達(dá)0.99,電流諧波小于5%;
? 可擴(kuò)展:FPGA+DSP+ARM全數(shù)字化控制平臺,更智能更可靠,輕松匹配客戶的定制化需求;
? 高集成,易維護(hù):自主專利技術(shù)的水冷設(shè)計(jì),標(biāo)準(zhǔn)化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),噪音低,操作簡單,維護(hù)便捷;
參數(shù) | HQ-MF04030-1 | HQ-MF04040-1 | HQ-MF04040-2 | HQ-MF04060-2 | HQ-MF04030-1P | HQ-MF04040-1P | HQ-MF04040-2P |
輸入電壓 | 323Vac~475Vac,三相+地線 | ||||||
輸入頻率 | 45Hz~64Hz | ||||||
輸出通道數(shù)量 | 1 | 1 | 2 | 2 | 1 | 1 | 2 |
每通道輸出功率 | 30kW | 35kW | 20kW | 30kW | 30kW | 35kW | 20kW |
每通道最高輸出電壓 | 600V | 800V | |||||
每通道最大輸出電流 | 85A | 87.5A | 55A | 85A | 85A | 87.5A | 55A |
輸出頻率 | 40kHz,可調(diào) | ||||||
輸出控制模式 | 恒功率、恒壓、恒流 | ||||||
開關(guān)機(jī)控制方式 | 觸摸屏、RS485、模擬接口、CAN、EtherCAT | ||||||
安裝尺寸(W*H*D) | 482*178*700 mm3 | 482*267*700 mm3 | 482*178*700 mm3 | ||||
工作溫度 | +5℃~+45℃ | ||||||
冷卻方式 | 水冷 |